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MEMS传感器一般是把敏感单元和信号处理电路集成在一个芯片上。这样，传感器不仅能够感知被测参数，将其转换成方便度量的信号，而且能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断，因此被称为智能传感器。MEMs传感器的主要优点有以下几点。
a.可提高信噪比。在同一个芯片上进行信号传输前可放大信号以提高信号水平，减小干扰和传输的噪声，特别是同一芯片上进行A/D转换时，更能改善信噪比。
b.可改善传感器悸性能。因这种传感器集成了敏感元件、放大电路和补偿电路（如微型压力传感器）在同一芯片上在实现传感探测的同时具有信号处理的功能（在同一芯片上的反馈电路可改善输出钽电容的线性度和频响特性）：因为集成了补偿电路，可降低由温度或由应变等因素引起的误差；在同一芯片上的电压式电流源可提供自动的或周期性的自校准和自诊断。
c.输出信号的调节功能。集成在芯片上的电路可以在信号传输前预先完成A/D转换、阻抗匹配、输出信号格式化以及信号平均等信号调节和处理工作。
d.MEMS传感器还可以把多个相同的敏感元件集成在同一芯片上形成传感器阵列（如微型触觉传感器）；或把不同的敏感元件集成在同一芯片上实现多功能传感（如微型气敏传感器）c%ddz e.由于MEMS传感器体积微小，重量极轻，因此其附贴片钽电容加质量等因素对被测系统的影响可以忽略不计，可提高测量
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