当前位置： 文档下载 > 所有分类 > 工程科技 > 信息与通信 > AFM原理以下为AFM的原理图及其说明。
原理： 精密的PZT（Scanner）驱动Sample在三维方向上运动，移动的精度XY方向为0.2nm, Y方向0.01nm。微探针Cantilever接触在样品表面，并通过一套激光发射和激光检测系统来检测探针的形变，样品在Scanner驱动下沿一定的方向运动，样品的表面形貌高低起伏会使探针的形变发生改变，并通过测出来，P.S.D检测得到的信号通过一套反馈回路反馈给Scanner，
样品在Z方向移动，使微探针的形变恢复。记录下Scanner 的Z
迹，就可以获得样品表面的形貌。
并通过检测探针与样品间的作用力可以获得样品很多物性的信息，如软硬度、磁力、摩擦力等等。
P.S.D.Scanner驱动检方向运动的轨
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