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71 马岁平 坐标测量机测量结果不确定度评定

三坐标测量机示值误差测量结果的不确定度评定

通标标准技术服务(上海)有限公司工业部材料实验室 马岁平

1、概述

1.1测量方法:依据JJF1064-2010《坐标测量机校准规范》

1.2环境条件:实验室环境温度(20±1)ºC,相对湿度小于70%,平衡温度时间不少于5h

1.3测量标准:三等量块,其扩展不确定度U=(0.1+1.0L)μm(L是标准量块长度,单

位:m),包含因子k=2.62。

1.4被测对象:三坐标测量机,测量范围(0~1000)mm,其最大允许示值误差不小于

(0.8+L/500)μm (L为受检长度,单位:mm)

1.5测量过程:校准三坐标测量机示值误差时,先将所用标准量块与三坐标测量机同置一

室,等温时间5h以上。按操作规范对配置的探针进行标定,根据坐标测量机相应轴

测量范围选择标准量块长度,共使用5个长度值,其最大长度不小于相应轴测量长度

的66%,最小长度不超过30mm,其他长度应使测量长度间隔基本均匀。将标准器在

7个不同的方向和位置安放,标准器安放的方向应至少包含4个空间对角线方向。分

别对各测量长度在各方向和位置进行3次测量,取3次测量平均值作为测量结果。将

所用标准量块的校准值作为测量长度的约定真值,取三坐标测量机测得长度值与约定

真值之差,即为坐标测量机各校准点的示值误差。

1.6评定结果的使用:

在符合上述条件的测量结果,一般可直接使用本测量不确定度的评定结果。

2、数学模型

ΔL=Li Ls

式中:ΔL——各校准点的示值误差;

Li——各校准点上仪器的实测值;

Ls——所用标准量块的实际长度。

a、实际测量中,以3次测量平均值作为测量结果。

b、灵敏系数:c1= ΔL/ Li=1

c2= ΔL/ Ls= 1

3、测量不确定度的来源分析

本次不确定度评定所用测量标准是3等量块,在常规环境中使用时温度变化对测量结

果的影响比较大,所以由温度变化引起的不确定度分量必须引入。

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